射频高阻硅基氮化镓异质结外延器件仿真设计及制备技术

作者：关赫

页数：214

出版社：西北工业大学出版社

ISBN：9787561292181

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内容简介

本书以行业内高阻硅(HRSi)基氮化镓外延和材料的研究成果为基础，以仿真设计为切入点，结合制备工艺，开展了基于高阻Si(lll)衬底的氮化镓(GaN)异质结外延器件的技术研究。