作者：王洪昌//王占山
页数：116页
出版社：同济大学出版社
出版日期：2017
ISBN：9787560869322
电子书格式：pdf/epub/txt
内容简介
针对极紫外和软X射线常规周期多层膜偏振元件带宽窄的测试困难的现状，王洪昌、王占山著的这本《极紫外与软X射线多层膜偏振元件研究》首次提出了非周期多层膜宽带偏振光学元件的方法，克服了常规周期多层膜带宽窄、测试时元件需要平移或旋转的难题。本书适合高等院校师生参考使用。
本书特色
针对极紫外和软X射线常规周期多层膜偏振元件带宽窄的测试困难的现状，王洪昌、王占山著的这本《极紫外与软X射线多层膜偏振元件研究》首次提出了非周期多层膜宽带偏振光学元件的方法，克服了常规周期多层膜带宽窄、测试时元件需要平移或旋转的难题。本书适合高等院校师生参考使用。
目录
总序
论丛前言
前言
第1章 绪论
1.1 概述
1.2 偏振光学元件的发展和研究现状
1.3 极紫外和软X射线波段偏振光学元件应用
1.4 课题研究背景和研究内容
第2章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件设计
2.1 概述
2.2 极紫外与软X射线周期多层膜偏振元件设计
2.3 极紫外与软X射线非周期多层膜偏振元件设计
2.3.1 宽带及宽角多层膜偏振光学元件膜系初始结构推导
2.3.2 极紫外与软X射线多层膜宽带偏振元件设计
2.3.3 极紫外与软X射线多层膜宽角偏振元件设计
2.3.4 极紫外与软X射线非周期透射多层膜偏振元件设计
2.4 本章小结
第3章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件制备与检测
3.1 概述
3.2 溅射原理及磁控溅射设备简介
3.3 X射线衍射仪(XRD)
3.4 合肥国家同步辐射实验室(NSRL)反射率计
3.5 北京同步辐射装置(BSRF)偏振测量装置
3.6 德国柏林同步辐射实验室(BESSY)偏振测量装置
3.7 其他检测方法
3.8 本章小结
第4章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件测试结果与分析
4.1 概述
4.2 XRD小角衍射测试
4.3 NSRL反射率测试结果
4.4 BSRF偏振测试结果
4.5 BESSY偏振测试结果
4.5.1 反射式周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.2 透射式周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.3 反射式Mo／Si非周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.4 反射式Mo／Y非周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.5 透射式Mo／Si非周期多层膜偏振元件测试结果与分析
4.6 本章小结
第5章 总结
5.1 主要研究成果
5.2 主要创新点
5.3 需要进一步解决的问题
参考文献
后记
论丛前言
前言
第1章 绪论
1.1 概述
1.2 偏振光学元件的发展和研究现状
1.3 极紫外和软X射线波段偏振光学元件应用
1.4 课题研究背景和研究内容
第2章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件设计
2.1 概述
2.2 极紫外与软X射线周期多层膜偏振元件设计
2.3 极紫外与软X射线非周期多层膜偏振元件设计
2.3.1 宽带及宽角多层膜偏振光学元件膜系初始结构推导
2.3.2 极紫外与软X射线多层膜宽带偏振元件设计
2.3.3 极紫外与软X射线多层膜宽角偏振元件设计
2.3.4 极紫外与软X射线非周期透射多层膜偏振元件设计
2.4 本章小结
第3章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件制备与检测
3.1 概述
3.2 溅射原理及磁控溅射设备简介
3.3 X射线衍射仪(XRD)
3.4 合肥国家同步辐射实验室(NSRL)反射率计
3.5 北京同步辐射装置(BSRF)偏振测量装置
3.6 德国柏林同步辐射实验室(BESSY)偏振测量装置
3.7 其他检测方法
3.8 本章小结
第4章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件测试结果与分析
4.1 概述
4.2 XRD小角衍射测试
4.3 NSRL反射率测试结果
4.4 BSRF偏振测试结果
4.5 BESSY偏振测试结果
4.5.1 反射式周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.2 透射式周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.3 反射式Mo／Si非周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.4 反射式Mo／Y非周期多层膜偏振元件测试结果
4.5.5 透射式Mo／Si非周期多层膜偏振元件测试结果与分析
4.6 本章小结
第5章 总结
5.1 主要研究成果
5.2 主要创新点
5.3 需要进一步解决的问题
参考文献
后记
