超硬材料薄膜的制备、性能与应用

1概论
1.1国外发展概述
1.2国内发展状况
1.3 CVD 金刚石生产企业
2CVD 薄膜能及其影响因素，
2.1金刚石薄膜的能
2.2影响金刚石薄膜的因素
3CVD 薄膜制备技术的多样
3.1化学气相沉积法?
3.2物理气相沉积法
3.3化学气相输运法.
3.4火焰燃烧法，
4CVD 金刚石薄膜的工程应用能应用4.1工程应用
4.能应用
4.3未来发展…
5纳米金刚石薄膜
5.1纳米金刚石薄膜的制备5.2纳米金刚石薄膜质量表征5.3纳米金刚石薄膜的能及应用6
类金刚石涂层
6.1类金刚石涂层的相结构6.2DLC膜的能与表征
6.3 DLC膜的制造方法和相关工艺6.4DLC薄膜制备技术及其产物特6.5类金刚石涂层的生长机制
6.6质量检测和结构检测
6.7DLC 膜的应用领域
7金刚石薄膜的特表征与测试技术
7.1金刚石薄膜的形貌分析
7.23D-MCM 散热能分析
7.3CVD 金刚石薄膜散热分析
7.4拉曼散射与荧光光谱分析
7.5反应气体与显微力学特
7.6薄膜基界面强度的测量
7.7 CVD金刚石薄膜的力学测量
7.8磨耗比的测定.
7.9等离子体刻蚀技术
7.10金刚石薄膜的冲蚀磨损
8理论模型与机制研究
8.1非平衡热力学耦合模型
8.2低压激活金刚石薄膜生长中的反应势垒8.3低压激活气相生长金刚石薄膜的驱动力8.4超平衡氢原子的特殊作用
9立方氨化硼薄膜
9.1立方氮化硼薄膜的研展与应用
9.2CVD法制备氮化硼薄膜
10结语与展望
参考文献