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红外与太赫兹探测器(原书第3版)

封面

作者:(波兰)A.罗加尔斯基著;丁雷,葛军译

页数:912

出版社:科学出版社

出版日期:2023

ISBN:9787030739308

电子书格式:pdf/epub/txt

内容简介

本书系统介绍了红外与太赫兹探测器件中的电子信息理论、物理内涵、光学知识,以及器件制备与应用中所涉及的材料、结构和制冷系统等多方面的内容,对红外与太赫兹器件制备、应用研发以及实际工程使用人员具有很高的参考价值。全书分为5个部分,包括红外与太赫兹探测基础、红外热探测器、红外光子探测器、红外焦平面阵列以及太赫兹探测器与焦平面阵列。其中红外热探测器部分单列了气动探测器一章,红外光子探测器部分分列了多种近十年开始进入成熟期的器件类型,太赫兹探测器从原来的一章扩充为一个部分,并对近期的一些进展做了详细的介绍。

目录

目录

第一部分 红外与太赫兹探测基础

第1章 辐射度量学 3

1.1 辐射度量学与光度学中的量和单位 4

1.2 辐照度学中量的定义 6

1.3 辐射亮度 8

1.4 黑体辐射 10

1.5 发射率 13

1.6 红外光学 15

第2章 红外系统基础 19

2.1 红外探测器市场 19

2.2 夜视系统的概念 21

2.3 热成像 25

2.4 制冷器技术 32

2.5 大气传输与红外波段 42

2.6 场景辐射与对比度 43

第3章 红外探测器的性能 45

3.1 现代红外探测技术的发展历史 47

3.2 红外探测器的分类 50

3.3 探测器工作温度 54

3.4 探测器的品质因子 56

3.5 探测率基本极限 58

第4章 红外探测器的基本性能限制 64

4.1 热探测器 64

4.2 光子探测器 72

4.3 光子和热探测器的基本限制比较 79

4.4 光子探测器的理论模型 83

第5章 红外辐射与探测器的耦合 87

5.1 标准耦合 87

5.2 等离激元耦合 89

5.3 陷光探测器 98

第6章 外差探测 103

6.1 外差探测理论 105

6.2 红外外差探测技术 108

第二部分 红外热探测器

第7章 热电堆 117

7.1 热电堆的基本原理与操作 117

7.2 品质因子 121

7.3 热电材料 123

7.4 微机械加工热电堆 126

第8章 测辐射热计 132

8.1 测辐射热计的基本工作原理 132

8.2 测辐射热计的类型 135

8.3 微加工室温测辐射热计 139

8.4 超导测辐射热计 147

8.5 高温超导测辐射热计 152

8.6 热电子测辐射热计 156

第9章 热释电探测器 161

9.1 热释电探测器的基本原理和操作 161

9.2 热释电材料的选择 167

9.3 探测器设计 176

9.4 热释电的视像管 178

第10章 气动探测器 179

10.1 高莱管 179

10.2 微机械高莱管型传感器 181

第11章 新型热探测器 183

11.1 新型非制冷探测器 183

11.2 热传感器的比较 196

第三部分 红外光子探测器

第12章 光子探测器的原理 201

12.1 光电导探测器 201

12.2 pn结光电二极管 222

12.3 pin光电二极管 239

12.4 雪崩光电二极管 242

12.5 肖特基势垒光电二极管 247

12.6 金属半导体金属光电二极管 252

12.7 MIS光电二极管 254

12.8 非平衡光电二极管 258

12.9 势垒型光电二极管 259

12.10 光电磁、磁聚及丹倍探测器 264

12.11 光子牵引探测器 270

第13章 本征硅和锗探测器 274

13.1 硅光电二极管 275

13.2 锗光电二极管 284

13.3 SiGe光电二极管 288

第14章 非本征硅和锗探测器 292

14.1 非本征光电导 292

14.2 非本征光电导技术 293

14.3 非本征光电导工作特性 295

14.4 非本征光电导的性能 296

14.5 阻挡杂质带器件 301

14.6 固态光电倍增管 306

第15章 光电发射探测器 308

15.1 内光电发射过程 308

15.2 肖特基势垒探测器截止波长的控制 315

15.3 肖特基势垒探测器的结构优化与制备 316

15.4 新型内光电发射探测器 317

第16章 Ⅲ-Ⅴ族探测器 321

16.1 Ⅲ-Ⅴ族窄禁带半导体的物理特性 321

16.2 铟镓砷光电二极管 331

16.3 二元Ⅲ-Ⅴ族光探测器 339

16.4 InAsSb光电探测器 357

16.5 GaSb基三元、四元合金光电二极管 365

16.6 新型锑基Ⅲ-Ⅴ族窄禁带光电探测器 368

第17章 碲镉汞探测器 371

17.1 碲镉汞探测器的历史 372

17.2 碲镉汞:技术和特性 374

17.3 碲镉汞的基本特性 383

17.4 俄歇过程主导的光探测器性能 397

17.5 光电导型探测器 400

17.6 光伏型探测器 414

17.7 势垒型光电二极管 454

17.8 其他Hg基探测器 457

第18章 Ⅳ-Ⅵ族探测器 463

18.1 材料制备与特性 464

18.2 多晶光电导探测器 476

18.3 pn结型光电二极管 481

18.4 肖特基势垒型光电二极管 489

18.5 非传统的薄膜光电二极管 496

18.6 可调谐振腔增强探测器 498

18.7 铅盐与HgCdTe器件的比较 500

第19章 量子阱红外光电探测器 503

19.1 低维固体:背景 503

19.2 多量子阱和超晶格 508

19.3 光导型量子阱红外光电探测器 516

19.4 光伏型量子阱红外光电探测器 531

19.5 超晶格微带QWIP 533

19.6 光耦合 534

19.7 相关器件 537

第20章 超晶格探测器 547

20.1 HgTe/HgCdTe超晶格 548

20.2 Ⅱ类超晶格 554

20.3 InAs/GaSb超晶格光电二极管 564

20.4 InAs/InAsSb超晶格光电二极管 573

20.5 器件钝化 575

20.6 Ⅱ类超晶格光电探测器中的噪声机制 578

第21章 量子点红外光电探测器 581

21.1 QDIP制备和工作原理 581

21.2 QDIP的预期优势 584

21.3 QDIP模型 585

21.4 QDIP的性能 590

21.5 胶体QDIP593

第22章 红外势垒型光电探测器 596

22.1 短波红外势垒型探测器 596

22.2 铟砷锑势垒型探测器 597

22.3 铟砷/镓锑Ⅱ类势垒型探测器 600

22.4 势垒型探测器与HgCdTe 光电二极管的比较 606

第23章 级联红外光电探测器 616

23.1 多级红外探测器 616

23.2 Ⅱ类超晶格带间级联红外探测器 617

23.3 与碲镉汞HOT光电探测器的性能比较 625

第四部分 红外焦平面阵列

第24章 焦平面阵列结构概述 629

24.1 焦平面阵列概述 630

24.2 单片式阵列 633

24.3 混成式阵列 639

24.4 读出集成电路 643

24.5 焦平面阵列的性能 646

24.6 小像元焦平面阵列的发展 655

24.7 自适应焦平面阵列 665

第25章 热探测焦平面阵列 668

25.1 热电堆焦平面阵列 669

25.2 测辐射热计焦平面阵列 673

25.3 热释电焦平面阵列 689

25.4 封装 697

25.5 新型非制冷焦平面阵列 699

第26章 光子探测焦平面阵列 703

26.1 本征硅阵列 707

26.2 非本征硅和锗阵列 716

26.3 光发射阵列 722

26.4 Ⅲ-Ⅴ族焦平面阵列 729

26.5 碲镉汞焦平面阵列 739

26.6 铅盐阵列 751

26.7 量子阱红外光电探测器阵列 756

26.8 势垒型探测器和Ⅱ类超晶格焦平面阵列 762

26.9 碲镉汞与Ⅲ -Ⅴ族———未来展望 768

第27章 第三代红外探测器 775

27.1 对第三代探测器的需求 777

27.2 碲镉汞多色探测器 780

27.3 多波段量子阱红外光电导 790

27.4 多波段Ⅱ类铟砷/镓锑探测器 799

27.5 多波段量子点红外光电探测器 804

第五部分 太赫兹探测器与焦平面阵列

第28章 太赫兹探测器与焦平面阵列 809

28.1 概述 809

28.2 太赫兹辐射特性概述 812

28.3 太赫兹探测器的发展路径 815

28.4 太赫兹直接探测和外差探测技术 821

28.5 光导型器件中太赫兹波的产生与探测 826

28.6 室温太赫兹探测器 828

28.7 非本征探测器 852

28.8 破裂对光子探测器 853

28.9 微波动态电感探测器 857

28.10 半导体测辐射热计 860

28.11 超导测辐射热计 865

28.12 转变边沿传感测辐射热计 871

28.13 新型太赫兹探测器 876

后记 895

节选

第一部分 红外与太赫兹探测基础 第1章 辐射度量学 本章将讨论在书中会使用的一些概念。辐射度量计算是探测器性能及信号/噪声水平评价时必须用到的工具。辐射度量学(mdiometry)这个词不只是描述了电磁辐射能量的感知与测量,也可普遍用于从一个物体或表面到其他物体或表面通过辐射方式传递能量的预测与计算。辐射度量学的概念类似于光度学(photometric),光度学是采用人眼视觉作为探测器来对电磁辐射进行计量的,同时,这些概念又与光子(photon)的传输联系在一起,这些定义都是为了便于讨论这三者。 红外光谱区的波长在电磁波谱中长于可见光,短于毫米波,如图1.1所示。这样的分类起始于在不同波段所采用的不同的波源与探测技术。在红外光谱区内又可以根据通常适用的探测器的谱带限制划分为多个光谱区,如表1.1所示。1pm波长来自于常用的硅(Si)探测器的探测波长上限。3μm波长是硫化铅(PbS)和铟镓砷(InGaAs)的探测波长上限;6μm是锑化铟(nSb)、砸化铅(PbSe)、硅化铂(PtSi)及应用于3~5μm大气窗口的碲镉汞(HgCdTe)探测器的探测波长上限;15μm是应用于8~14μm大气窗口的碲镉汞(HgCdTe)探测器的探测波长上限。 红外探测器件的设计需要通过辐射度量学来深人理解目标所发射出的辐射,以及传输到探测器的辐射功率。对于红外系统整体所能实现的信噪比,这是一个至关重要的问题。 本章的讨论根据一些假设和近似做了简化。我们仅考虑非相干光源的辐射,忽略干涉效应。同时,我们做出类似于近轴光学中的小角度假设,在该假设下,一个角度的正弦值在数值上可以近似等于这个角度的弧度值。 本章还提供了一些辐射度量学的指导,详细信息可以参考文献。 1-1辐射度量学与光度学中的量和单位 辐射度量学是光物理学的一个分支,主要涉及的是频率为3×1013~3x1016Hz内的电磁波的测量,对应到波长,则覆盖了10nm~10的范围,包括了通常被称为紫外光、可见光及红外光的区间。辐射度量学所研究的是光的实际能量,而不是人类视觉系统所能感知的量。典型的辐射度量学单位包括辐射通量单位瓦特(W)、辐射强度单位瓦特/立体角(W/Sr)、辐射照度单位瓦特/米2(W/m2)和辐射亮度单位瓦特/(米2 立体角)[W/(m2 Sr)]。 光源的强度最早是通过观察光源的亮度来获得的。随着科技的发展,人们认识到人眼所能感受到的亮度,不仅和光的实际能量相关,也与波长和颜色相关。从明亮的阳光到仅包含几个光子的闪烁,人眼可以感受到的光强跨越了11个数量级。 人眼视网膜包含两种类型的受体,称为视锥细胞和视杆细胞,它们可以产生神经冲动,并传递给后续的人类视觉系统进行处理。视锥细胞分布在整个视网膜上,在我们的视觉中心(称为中心凹的区域)更密集,有助于人眼在视野中心实现高视觉敏锐度。视锥细胞负责我们的色彩感觉,视杆细胞分布在除了中心凹的整个视网膜上,负责夜间弱光下的黑白视觉。 相较于红蓝光,眼睛对黄绿光更为敏感。为了考虑这样的差异,对应于辐射度量学中的物理量,可以引人一系列新的量来描述可见光,根据人眼响应进行加权,将相应的数值乘以光谱响应函数八A),该函数也称为明视觉下的光谱照度系数。该函数定义在360~830nm的波长范围内,并将峰值处(555nm)的值定为1,进行归一化(图1.2)。7(A)反映了人眼对各种波长光的适当反应。这个函数最早由国际照明委员会(CommissionInternationaleder?clairage,CIE)于1924年设定[],是不同年龄人群的平均反应。应该注意的是,F(A)函数的定义基于感知相加性的假设,以及在较高照度下2°视场角的测试条件,此时,视锥细胞起到主导作用。在非常弱的照度条件下,视杆细胞将起到主导作用,从而导致人眼的光谱响应产生较大偏差。对应于明视觉,这样的情况称为暗视觉。 光度学(photometric)是对人眼可感知的光辐射进行测量的一门学科。因为光度学仅涉及可见光波段,所有的量都是针对人眼的光谱响应进行折算的。典型的光度学单位包括光通量单位流明(m)光强度单位坎德拉(cd)、照度单位勒克斯(k)和亮度单位坎德拉/米2(cd/m2)。 光度学与辐射度量学中类似的物理量会具有不同的名称和单位。例如,功率在辐射度量学中称为功率或辐射通量,单位是瓦特(W),而在光度学中称为光通量,单位是流明(m)。国际单位制(SI)中规定了7个基本单位:米、千克、秒、安培、开尔文、摩尔和坎德拉。坎德拉是光度学中的发光强度或亮度,对应于辐射度量学中的辐射强度。流明是根据坎德拉定义的。表1.2列出了辐射度量学与光度学中对应的物理量、单位及换算关系。 辐射度量学的术语、符号、定义和单位经常容易引起混淆,这主要是由早期不同领域的研究人员在平行开展的辐射度量学工作中各自发展出自己的术语导致的。在阅读文献时需要特别注意这些问题。本章将采用国际标准和推荐术语进行描述。 1.2辐照度学中量的定义 辐射通量也称为辐射功率,定义为光源在单位时间内辐射的能量以单位为J) (1.1) 辐射通量的单位为W。 辐射强度是指一个点光源在给定方向单位立体角内发射的辐射通量,可表示为 (1.2) 式中,d0为该光源发出的沿给定方向在一个立体角元dD内传播的辐射通量(图1.3)。辐射强度的单位为W/sr。 立体角用微分形式表示如式(1.3)所示,单位为球面度(r): (1.3) 如果采用图1.4中的球坐标系,并令d4=r2sin况糾~我们可以将半平面角为0max的一个平板所对应的立体角表示为 (1.4) 辐射照度是入射表面上某一点处的辐射通量,可以定义为通过单位面积的辐射量[图1.5(a)],如下: (1.5)

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