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金刚石半导体器件前沿技术

封面

作者:张金风

页数:232

出版社:西安电子科技大学出版社

出版日期:2022

ISBN:9787560664866

电子书格式:pdf/epub/txt

内容简介

本书以作者近年来的研究成果为基础,结合国际研究进展,系统地介绍了金刚石超宽禁带半导体器件的物理特性和实现方法,重点介绍了氢终端金刚石场效应管器件。全书共8章,内容包括绪论、金刚石的表面终端、氢终端金刚石场效应管的原理和优化、金刚石微波功率器件、基于各种介质的氢终端金刚石MOSFET、金刚石高压二极管、石墨烯/金刚石复合器件及金刚石半导体器件的展望。本书可供微电子、半导体器件和材料领域的研究生与科研人员阅读。

目录

第1章绪论

参考文献

第2章金刚石的表面终端

2.1氢终端金刚石表面

2.2氧终端金刚石表面

2.3氟终端金刚石表面

2.4氮终端金刚石表面

参考文献

第3章氢终端金刚石场效应管的原理和优化

3.1氢终端金刚石表面导电沟道

3.1.1氢终端金刚石表面导电沟道的形成机理

3.1.2氢终端金刚石表面p型电导特性

3.1.3氢终端金刚石表面空穴的输运特性

3.2氢终端金刚石场效应管的工作原理

3.2.1栅极结构和特性

3.2.2器件结构与工作原理

3.3氢终端金刚石场效应管特性的仿真研究

……

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Article Title:《金刚石半导体器件前沿技术》
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