微机电系统设计及应用探究

作者：吴倩楠著

页数：177页

出版社：吉林科学技术出版社

出版日期：2021

ISBN：9787557880477

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内容简介

本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。