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IGBT理论与设计(精)

封面

作者:(印度)维诺德·库马尔·卡纳

页数:413

出版社:机械工业出版社

出版日期:2020

ISBN:9787111663522

电子书格式:pdf/epub/txt

内容简介

本书首先对不同类型的IGBT工作原理进行了介绍,然后从IGBT的结构出发,给出了IGBT中MOS结构和双极型结构的工作原理,接下来详细说明了它们如何影响IGBT的正向传导特性,详细研究了IGBT模型,包括静态、动态和电热行为,讨论了IGBT中的闩锁效应,以及预防闩锁的详细处理方法。借助计算机辅助设计工具深入研究了IGBT单元的设计技术,从结构、掺杂分布、沟道长度、跨导和正向压降、导通和开关损耗、单元布图和间距,以及缓冲层优化,直至场环和场板终端设计。本书还介绍了制造功率IGBT的工艺技术,对功率IGBT模块和相关的技术进行了讨论。对新的IGBT技术也进行了介绍。本书最后介绍了IGBT在电动机驱动,汽车点火控制、电源、焊接、感应加热等领域中的应用情况。本书涵盖内容广泛,讲述由浅入深。在各章中提供了大量实例以及附加问题,更加适合课堂教学,同时,每章后给出的参考文献将为研究人员提供关于IGBT一些有用的指导。
本书既可以满足电力电子技术和微电子技术中功率器件相关课程的学生需求,也可以满足专业工程师和技术人员进行IGBT研究的需求。

作者简介

Vinod Kumar Khanna于1952年出生在印度Lucknow。他目前是印度Pilani中央电子工程研究所固态器件部门的科学家。1988年在Kurukshetra大学获得了物理学博士学位。在过去的几十年里,他在功率半导体器件、工艺设计和器件制造方面做了大量的研究工作。他的研究工作主要集中在高压大电流整流器、高压电视偏转晶体管、达林顿功率晶体管、逆变级晶闸管,以及功率DMOSFET和IGBT。 Khanna博士在国际期刊和会议上发表了30多篇研究论文,并撰写了两本专著。他于1986年在科罗拉多州丹佛市的IEEE-IAS年会上发表了论文,并于1999年担任德国Darmstadt技术大学客座科学家。他是印度IETE的会士以及半导体协会和印度物理协会的终身会员。

本书特色

本书是IGBT方面的经典著作,由执笔,作为功率器件教材,内容涵盖IGBT基本原理、设计方法、工艺技术、模块相关、技术趋势、应用情况,是一本全面、深入的实用指南

目录

译者序

原书前言

原书致谢

作者简介

第1章功率器件的演变和IGBT的出现1

11背景介绍1

12IGBT3

13IGBT的优缺点5

14IGBT的结构和制造8

15等效电路的表示9

16工作原理及电荷控制现象10

17电路建模11

18IGBT的封装选择15

19IGBT的操作注意事项15

110IGBT栅极驱动电路15

111IGBT的保护17

112小结18

练习题19

参考文献20

第2章IGBT基础和工作状态回顾24

21器件结构24

211横向IGBT和垂直IGBT24

212非穿通 IGBT和穿通 IGBT26

213互补器件31

22器件工作模式32

221反向阻断模式32

222正向阻断和传导模式33

23IGBT的静态特性35

231电流-电压特性35

232IGBT的转移特性37

24IGBT的开关行为37

241IGBT开启37

242具有电阻负载的IGBT开启38

243具有电感负载的IGBT开启40

244IGBT关断43

245带有电阻负载的IGBT关断45

246带有电感负载的IGBT关断47

247关断时间对集电极电压和电流的依赖性48

248NPT-IGBT和PT-IGBT的软开关性能49

249并联的考虑51

25安全工作区域52

251栅极电压振荡引起的不稳定性54

252可靠性测试54

26高温工作56

27辐射效应57

28沟槽栅极IGBT和注入增强型IGBT58

29自钳位 IGBT60

210IGBT的额定值和应用61

211小结64

练习题64

参考文献66

第3章IGBT中的MOS结构70

31一般考虑70

311MOS基本理论70

312功率MOSFET结构70

313MOSFET-双极型晶体管比较73

32MOS结构分析和阈值电压74

33MOSFET的电流-电压特性、跨导和漏极电阻82

34DMOSFET和UMOSFET的导通电阻模型84

341DMOSFET模型84

342UMOSFET模型86

35MOSFET等效电路和开关时间89

36安全工作区域91

37中子和伽马射线损伤效应92

38MOSFET的热行为93

39DMOSFET单元窗口和拓扑设计94

310小结95

练习题95

参考文献96

附录31式(32a)和式(32b)的推导97

附录32式(37)的推导98

附录33推导在强反型转变点的半导体体电势ψB和表面电荷Qs的公式100

附录34式(333)~式(336)的推导 101

附录35式(339)的推导103

附录36式(349)的推导104

第4章IGBT中的双极型结构106

41PN结二极管106

411内建电势0107

412耗尽层宽度xd和电容Cj111

413击穿电压VB112

414电流-电压(id-va)方程115

415反向恢复特性117

42PIN整流器118

43双极结型晶体管123

431静态特性和电流增益123

432功率晶体管开关126

433晶体管开关时间127

434安全工作区128

44晶闸管129

441晶闸管的工作状态129

442晶闸管的di/dt性能和反向栅极电流脉冲导致的关断失效131

443晶闸管的dv/dt额定值132

444晶闸管开启和关断时间133

45结型场效应晶体管134

46小结135

练习题135

参考文献136

附录41漂移和扩散电流密度137

附录42爱因斯坦方程139

附录43连续性方程及其解139

附录44连续性方程式(441)的解142

附录45式(450)的推导143

附录46电流密度式(455)和式(456)的推导147

附录47晶体管的端电流[式(457)和式(458)]150

附录48共基极电流增益αT[式(463)]153

第5章IGBT的物理建模156

51IGBT的PIN整流器- DMOSFET模型156

511基本模型公式156

512导通状态下IGBT漂移区的载流子分布158

513IGBT的正向压降 160

514导通状态下载流子分布的二维模型161

52通过PIN整流器-DMOSFET模型扩展的IGBT双极型晶体管-DMOSFET模型164

521正向传导特性164

522IGBT中MOSFET的正向压降168

523IGBT的有限集电极输出电阻169

53包含器件-电路相互作用的IGBT的双极型晶体管-DMOSFET模型171

531稳态正向传导状态171

532IGBT的动态模型及其开关行为174

533IGBT关断瞬态的状态方程176

534电感负载关断期间dV/dt的简化模型179

535IGBT的动态电热模型183

536电路分析模型参数的提取190

54小结190

练习题190

参考文献192

附录51式(58)的解194

附录52式(533)和式(534)的推导195

参考文献196

附录53式(535)的推导196

附录54式(538)的推导[式(535)的解]197

附录55式(540)~式(542)的推导198

附录56式(544)的推导199

附录57式(581)的推导和1-D线性元件等效导电网络的构建203

参考文献206

第6章IGBT中寄生晶闸管的闩锁207

61引言207

62静态闩锁209

63动态闩锁211

631具有电阻负载的对称IGBT的闩锁211

632具有电阻负载的非对称IGBT的闩锁214

633具有电感负载的对称IGBT的闩锁215

64闩锁的预防措施216

65沟槽栅极IGBT的闩锁电流密度231

66小结 232

练习题232

参考文献234

附录61式(615)的推导235

附录62式(620)的推导236

第7章IGBT单元的设计考虑238

71半导体材料选择和垂直结构设计238

711起始材料238

712击穿电压240

713击穿模型243

72基于分析计算和数值仿真的IGBT设计246

721设计方法和CAD仿真层次结构246

722设计软件248

723DESSIS-ISE中的物理模型248

724计算和仿真过程250

73N型缓冲层结构的优化258

74场环和场板终端设计260

741关键设计参数261

742场环的设计方法262

743带场限环PIN二极管击穿电压的数值仿真264

744环间距的迭代优化264

745通过使电场分布均匀化的准三维仿真来设计场环265

746表面电荷效应和场板附加结构265

75表面离子注入的终端结构267

76用于横向IGBT中击穿电压增强的减小的表面电场概念267

77小结269

练习题269

参考文献271

附录71倍增系数M272

附录72VBR方程273

附录73雪崩击穿电压VB274

参考文献275

附录74穿通电压VPT275

附录75BVCYL/BVPP公式275

参考文献278

第8章IGBT工艺设计与制造技术279

81工艺顺序定义279

811VDMOSFET IGBT制造279

812沟槽栅极IGBT制造286

82单工艺步骤291

821外延淀积291

822热氧化291

823热扩散周期293

824离子注入294

825光刻296

826多晶硅、氧化硅和氮化硅的化学气相淀积296

827反应等离子体刻蚀297

828金属化298

829电子辐照299

8210质子辐照300

8211He注入300

8212封装300

83工艺集成和仿真301

练习题306

参考文献307

附录81硅的热氧化309

参考文献311

附录82式(83)~式(85)的推导312

第9章功率IGBT模块316

91并联IGBT以及逻辑电路与功率器件的集成316

92功率模块技术319

921衬底和铜淀积319

922芯片安装322

923互连和封装322

93隔离技术323

931介质隔离323

932自隔离324

933PN结隔离325

94可集成的器件:双极型、CMOS、DMOS(BCD)和IGBT325

95功率IGBT驱动、温度感应和保护325

96IGBT模块封装中的寄生元件327

97扁平封装的IGBT模块328

98IGBT模块的理想特性和可靠性问题330

99模块的散热和冷却331

910大功率IGBT模块的材料要求332

911最新技术和趋势333

练习题335

参考文献336

第10章新型IGBT的设计理念、结构创新和新兴技术339

101在导通状态电压降和开关损耗之间的折中339

102在沟槽IGBT导通态载流子分布的并联和耦合PIN二极管-PNP型晶体管模型341

103性能优越的非自对准沟槽IGBT342

104动态N型缓冲IGBT344

105具有反向阻断能力的横向IGBT345

106抗高温闩锁的横向IGBT346

107具有高闩锁电流性能的自对准侧壁注入的N+发射极横向IGBT347

108更大FBSOA的LIGBT改进结构348

109集成电流传感器的横向IGBT348

1010介质隔离的快速LIGBT349

1011薄绝缘体上硅衬底上的横向IGBT350

1012改进闩锁特性的横向沟槽栅极双极型晶体管350

1013沟槽平面IGBT351

1014相同基区技术中的簇IGBT352

1015沟槽簇IGBT353

1016双栅极注入增强型栅极晶体管354

1017SiC IGBT356

1018小结和趋势357

练习题358

参考文献359

附录101集电结的电子电流360

附录102瞬态基区存储电荷Qbase(t)361

附录103存在可动载流子浓度时的耗尽宽度361

附录104调制的基区电阻Rb362

附录105由于IGBT中PIN二极管末端复合而导致的导通态压降363

附录106能量损耗364

附录107在TIGBT发射区端的N-基区的过剩载流子浓度Pw364

附录108IGBT的N-基区上的导通电压降368

第11章IGBT电路应用370

111DC-DC转换370

1111降压转换器370

1112升压转换器376

1113降压-升压转换器378

112DC-AC转换379

1121单相半桥逆变器379

1122单相全桥逆变器381

1123采用脉冲宽度调制的AC电压控制384

1124三相全桥逆变器386

113AC-DC转换387

114软开关转换器391

1141软开关DC-DC转换器391

1142软开关逆变器395

1143软开关的优点398

115IGBT电路仿真399

1151SPICE IGBT模型的参数提取过程399

1152基于物理的IGBT电路模型的参数提取400

1153IGBT的SABER建模401

116IGBT转换器的应用402

1161开关电源402

1162不间断电源404

1163DC电动机驱动406

1164AC电动机驱动406

1165汽车点火控制408

1166焊接409

1167感应加热410

117小结410

练习题411

参考文献413

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