微系统设计导论

作者：[德]沃纳·卡尔·施默博格（Werne

页数：240

出版社：清华大学出版社

出版日期：2019

ISBN：9787302517573

电子书格式：pdf/epub/txt

内容简介

《微系统设计导论（第2版）》是以微结构设计与系统功能优化为基础，详细介绍微系统设计的教科书。本书通过建立和求解系统方程来进行参数设计，而微系统和微结构的工作原理是建立解析方程的基础，因此本书着重介绍微结构在微系统中的应用及其工作原理的表达式。

本书特色

《微系统设计导论（第2版）》系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。

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