
集成电路与等离子体装备
赵晋荣 | 科学出版社 | 2024出版 | 9787030775467

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舒嵘 | 科学出版社 | 2024出版 | 9787030410818

中国信息通信研究院 | 人民邮电出版社 | 2024出版 | 9787115633392

章杰侈、徐敏、郑雪芳 主编 | 化学工业出版社 | 2023出版 | 9787122448460

唐宏 | 人民邮电出版社 | 2024出版 | 9787115627155

杨亭 | 延边大学出版社 | 2024出版 | 9787230061766

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李书芳 | 清华大学出版社 | 2024出版 | 9787302655404