作者：[英]RebeccaCheung著
页数：121
出版社：科学出版社
出版日期：2010
ISBN：9787030268624
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内容简介
简介
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》：微纳技术著作丛书
本书特色
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》：微纳技术著作丛书
目录
译者序前言第1章 SiCMEMS概述1.简介2.SiC材料性能3.制作微机电(MEM)器件4.表面改性5.SiCMEMS的频率调谐6.MEMS的机械测试7.应用举例8.小结参考文献第2章 SiCMEMS沉积技术1.概述2.与SiC沉积相关的问题3.APCVD4.PE(2VD5.LPCVD6.LPCⅧSiC薄膜的掺杂7.其他沉积方法8.小结参考文献第3章 与SiC接触开发相关的问题综述1.概述2.热稳定性3.p型SiC的欧姆接触4.使用Ni的欧姆接触5.肖特基接触缺陷的影响6.小结参考文献第4章 SiC的干法刻蚀1.概述2.等离子刻蚀基础3.SiC的等离子刻蚀4.等离子体化学5.掩膜材料6.近期发展及未来展望7.小结参考文献第5章 SiCMEMS的设计、性能和应用1.概述2.SiCMEMS器件3.结论和展望参考文献附录
节选
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》内容简介：碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。