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[夸克网盘]射频高阻硅基氮化镓异质结外延器件仿真设计及制备技术 PDF

作者:关赫

页数:214

出版社:西北工业大学出版社

ISBN:9787561292181

电子书格式:PDF

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资源编号:391750284.pdf

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内容简介

本书以行业内高阻硅(HRSi)基氮化镓外延和材料的研究成果为基础,以仿真设计为切入点,结合制备工艺,开展了基于高阻Si(lll)衬底的氮化镓(GaN)异质结外延器件的技术研究。

标题:[夸克网盘]射频高阻硅基氮化镓异质结外延器件仿真设计及制备技术 PDF
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