作者：尤政.赵嘉昊
页数：348
出版社：国防工业出版社
出版日期：2020
ISBN：9787118119473
电子书格式：pdf/epub/txt
内容简介
本书是一部深入论述微机电系统(MEMS)技术发展前沿与应用的专著．共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题，围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开，从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术，并从军事航天的应用领域对MEMs制造与集成技术进行了分析及讨论；第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术；第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应，以及MEMS技术的产业化发展现状。
本书内容新颖，文献丰富，数据充实，适合与微米纳米技术相关的MEMS、纳米技术、微电子、光电子、传感与测控等领域科技人员与管理者，以及高等院校相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生等阅读。
目录
第1章 绪论
1.1 MEMS的概念
1.2 MEMS的历史
1.3 MEMS的特点
1.4 MEMS与IC的区别
1.5 MEMS的现状及应用领域
参考文献
第2章 MEMS制造与集成技术
2.1 绪论
2.2 MEMS制造技术发展
2.2.1 硅微加工技术概述
2.2.2 非硅微加工技术概述
2.2.3 其他加工制造技术
2.2.4 材料制备技术
2.2.5 MEMS器件封装技术
2.3 MEMS制造技术应用实例
2.3.1 MEMS制造技术应用实例
2.4 集成技术发展
2.4.1 集成技术发展
2.4.2 微纳器件的三维集成
2.4.3 微纳器件的系统集成
2.5 MEMS集成技术应用实例
2.5.1 军事应用
2.5.2 航天应用
2.5.3 生物应用
2.5.4 产业进展
2.6 MEMS制造与集成技术展望
2.7 本章小结
参考文献
第3章 MEMS测试技术
3.1 绪论
3.2 测试技术发展历程
3.2.1 测试技术历史回顾
3.2.2 测试技术的国内外发展现状
3.3 测试技术发展关键技术
3.4 测试技术应用实例
3.4.1 MEMS继电器测试
3.4.2 MEMs扫描微镜测试
3.5 本章小结
参考文献
第4章 惯性MEMS技术
4.1 绪论
4.2 MEMS加速度计
4.2.1 单轴电容检测式MEMS加速度计
4.2.2 三轴电容检测式MEMS加速度计
4.2.3 其他检测方式的MEMs加速度计
4.3 MEMS陀螺
4.3.1 振动式MEMS陀螺
4.3.2 转子式微陀螺
4.3.3 微光机电陀螺
4.4 微惯性测量单元
4.4.1 微组装惯性测量单元
4.4.2 单片集成惯性测量单元
4.5 惯性器件发展趋势
4.6 本章小结
参考文献
第5章 RF MEMS技术
5.1 绪论
5.2 技术发展
5.2.1 RF MEMS开关的研究
5.2.2 RF MEMS移相器的研究
5.3 应用实例
5.4 产业进展
5.5 关键技术及展望
5.6 本章小结
参考文献
第6章 微能源MEMS技术
6.1 绪论
6.2 国内外发展研究进展
6.2.1 能源技术发展历程
6.2.2 能量转换技术
6.2.3 能量存储技术
6.2.4 能量管理技术
6.3 应用实例
6.3.1 航天领域
6.3.2 无线传感领域
6.3.3 军事领域
6.4 产业进展
6.5 本章小结
参考文献
第7章 BiO-MEMS技术
7.1 绪论
7.2 国内外研究进展
7.2.1 历史回顾
7.2.2 Bio-MEMS应用分类
7.3 技术发展
7.3.1 Bio-MEMS与生物微传感器
7.3.2 Bio-MEMS的生化分析与检测
7.3.3 Bio-MEMS与组织工程
7.3.4 Bio-MEMS与医疗植入体
7.4 应用实例
7.4.1 战场救护与灾难急救生化微系统
7.4.2 载人航天与空间生化微系统
7.5 产业进展
7.6 本章小结
参考文献
第8章 可穿戴/植入MEMS技术
8.1 绪论
8.2 技术发展
8.2.1 医疗健康
8.2.2 运动信息检测
8.2.3 人体能量收集
8.3 应用实例
8.3.1 智能手表
8.3.2 智能眼镜
8.3.3 智能衣物
8.4 产业进展
8.5 本章小结
参考文献
第9章 空间MEMS技术
9.1 空间MEMS技术简介
9.2 空间MEMS技术发展
9.2.1 惯性导航系统
9.2.2 姿态测量与控制
9.2.3 微推进系统
9.2.4 热量控制系统
9.2.5 MEMS微扫描镜
9.2.6 MEMS原子钟
9.2.7 国内自主研制开发的空间MEMS器件
9.3 应用实例
9.3.1 MEMS陀螺
9.3.2 MEMS加速度计
9.3.3 MIMU
9.3.4 MOMES
9.3.5 MEMS原子钟
9.4 产业进展
9.5 本章小结
参考文献
第10章 极端环境MEMS技术
10.1 绪论
10.1.1 应用背景——用于高温环境下的MEMS
10.1.2 国内外发展概述
10.2 技术发展
10.2.1 与高温MEMS器件相关的材料问题
10.2.2 SiC的相关工艺发展
10.2.3 新材料
10.3 应用实例
10.3.1 压力传感器
10.3.2 其他类型传感器和执行器
10.4 产业进展
10.5 本章小结
参考文献
第11章 MEMS的新原理和新效应
11.1 绪论
11.2 MEMS中的纳米效应
11.2.1 一维硅纳米材料
11.2.2 石墨烯纳米材料
11.3 MEMS中的量子效应
11.4 MEMS中的三维打印技术
11.5 产业进展
11.6 本章小结
参考文献
第12章 MEMS产业化
12.1 绪论
12.2 MEMS器件
12.2.1 MEMS振荡器
12.2.2 MEMS麦克风
12.2.3 MEMS微镜头
12.2.4 CMOS图像传感器
12.2.5 MEMS压力传感器
12.2.6 MEMS运动测量器件
12.2.7 数字微镜元件DMD/数字光处理DLP
12.2.8 其他MEMS器件
12.3 MEMS商业产品
12.3.1 消费类电子
12.3.2 汽车工业
12.3.3 微能源器件
12.3.4 其他应用
12.4 其他相关产业
12.4.1 气体传感器
12.4.2 生物MEMS
12.4.3 指纹传感技术
12.4.4 微流控技术
12.5 产业进展
12.5.1 总论
12.5.2 MEMS厂商
12.5.3 MEMS产业发展趋势
12.5.4 MEMS国内企业布局
12.5.5 MEMS下游应用场景
12.6 本章小结
参考文献
1.1 MEMS的概念
1.2 MEMS的历史
1.3 MEMS的特点
1.4 MEMS与IC的区别
1.5 MEMS的现状及应用领域
参考文献
第2章 MEMS制造与集成技术
2.1 绪论
2.2 MEMS制造技术发展
2.2.1 硅微加工技术概述
2.2.2 非硅微加工技术概述
2.2.3 其他加工制造技术
2.2.4 材料制备技术
2.2.5 MEMS器件封装技术
2.3 MEMS制造技术应用实例
2.3.1 MEMS制造技术应用实例
2.4 集成技术发展
2.4.1 集成技术发展
2.4.2 微纳器件的三维集成
2.4.3 微纳器件的系统集成
2.5 MEMS集成技术应用实例
2.5.1 军事应用
2.5.2 航天应用
2.5.3 生物应用
2.5.4 产业进展
2.6 MEMS制造与集成技术展望
2.7 本章小结
参考文献
第3章 MEMS测试技术
3.1 绪论
3.2 测试技术发展历程
3.2.1 测试技术历史回顾
3.2.2 测试技术的国内外发展现状
3.3 测试技术发展关键技术
3.4 测试技术应用实例
3.4.1 MEMS继电器测试
3.4.2 MEMs扫描微镜测试
3.5 本章小结
参考文献
第4章 惯性MEMS技术
4.1 绪论
4.2 MEMS加速度计
4.2.1 单轴电容检测式MEMS加速度计
4.2.2 三轴电容检测式MEMS加速度计
4.2.3 其他检测方式的MEMs加速度计
4.3 MEMS陀螺
4.3.1 振动式MEMS陀螺
4.3.2 转子式微陀螺
4.3.3 微光机电陀螺
4.4 微惯性测量单元
4.4.1 微组装惯性测量单元
4.4.2 单片集成惯性测量单元
4.5 惯性器件发展趋势
4.6 本章小结
参考文献
第5章 RF MEMS技术
5.1 绪论
5.2 技术发展
5.2.1 RF MEMS开关的研究
5.2.2 RF MEMS移相器的研究
5.3 应用实例
5.4 产业进展
5.5 关键技术及展望
5.6 本章小结
参考文献
第6章 微能源MEMS技术
6.1 绪论
6.2 国内外发展研究进展
6.2.1 能源技术发展历程
6.2.2 能量转换技术
6.2.3 能量存储技术
6.2.4 能量管理技术
6.3 应用实例
6.3.1 航天领域
6.3.2 无线传感领域
6.3.3 军事领域
6.4 产业进展
6.5 本章小结
参考文献
第7章 BiO-MEMS技术
7.1 绪论
7.2 国内外研究进展
7.2.1 历史回顾
7.2.2 Bio-MEMS应用分类
7.3 技术发展
7.3.1 Bio-MEMS与生物微传感器
7.3.2 Bio-MEMS的生化分析与检测
7.3.3 Bio-MEMS与组织工程
7.3.4 Bio-MEMS与医疗植入体
7.4 应用实例
7.4.1 战场救护与灾难急救生化微系统
7.4.2 载人航天与空间生化微系统
7.5 产业进展
7.6 本章小结
参考文献
第8章 可穿戴/植入MEMS技术
8.1 绪论
8.2 技术发展
8.2.1 医疗健康
8.2.2 运动信息检测
8.2.3 人体能量收集
8.3 应用实例
8.3.1 智能手表
8.3.2 智能眼镜
8.3.3 智能衣物
8.4 产业进展
8.5 本章小结
参考文献
第9章 空间MEMS技术
9.1 空间MEMS技术简介
9.2 空间MEMS技术发展
9.2.1 惯性导航系统
9.2.2 姿态测量与控制
9.2.3 微推进系统
9.2.4 热量控制系统
9.2.5 MEMS微扫描镜
9.2.6 MEMS原子钟
9.2.7 国内自主研制开发的空间MEMS器件
9.3 应用实例
9.3.1 MEMS陀螺
9.3.2 MEMS加速度计
9.3.3 MIMU
9.3.4 MOMES
9.3.5 MEMS原子钟
9.4 产业进展
9.5 本章小结
参考文献
第10章 极端环境MEMS技术
10.1 绪论
10.1.1 应用背景——用于高温环境下的MEMS
10.1.2 国内外发展概述
10.2 技术发展
10.2.1 与高温MEMS器件相关的材料问题
10.2.2 SiC的相关工艺发展
10.2.3 新材料
10.3 应用实例
10.3.1 压力传感器
10.3.2 其他类型传感器和执行器
10.4 产业进展
10.5 本章小结
参考文献
第11章 MEMS的新原理和新效应
11.1 绪论
11.2 MEMS中的纳米效应
11.2.1 一维硅纳米材料
11.2.2 石墨烯纳米材料
11.3 MEMS中的量子效应
11.4 MEMS中的三维打印技术
11.5 产业进展
11.6 本章小结
参考文献
第12章 MEMS产业化
12.1 绪论
12.2 MEMS器件
12.2.1 MEMS振荡器
12.2.2 MEMS麦克风
12.2.3 MEMS微镜头
12.2.4 CMOS图像传感器
12.2.5 MEMS压力传感器
12.2.6 MEMS运动测量器件
12.2.7 数字微镜元件DMD/数字光处理DLP
12.2.8 其他MEMS器件
12.3 MEMS商业产品
12.3.1 消费类电子
12.3.2 汽车工业
12.3.3 微能源器件
12.3.4 其他应用
12.4 其他相关产业
12.4.1 气体传感器
12.4.2 生物MEMS
12.4.3 指纹传感技术
12.4.4 微流控技术
12.5 产业进展
12.5.1 总论
12.5.2 MEMS厂商
12.5.3 MEMS产业发展趋势
12.5.4 MEMS国内企业布局
12.5.5 MEMS下游应用场景
12.6 本章小结
参考文献
